临终处理除了透过助念的方式之外，还可以使用加持过的‘金光明沙’。根据不空三藏翻译之《毗卢遮那佛大灌顶光明真言经》所记载，持‘光明真言’及‘六道金刚咒’等，各一百零八遍加持土沙，散于亡者的遗体或骨上及坟士，能帮助亡者除去一切罪障、脱离恶道，往生西方极乐世界。
这种加持的功能，主要来自咒力、愿力和心力三种力量的结合。透过这三种力量，转变被加持者的心念，帮助他安然度过生死的关卡。
金光明沙的使用方法略述于下：
一、采土葬时：
(1)未盖棺时，依法将金光明沙洒于亡者额头上。
(2)已盖棺后，则洒于棺木上之垂直对应于头部的位置；用胶水先抹于棺木上，再洒金光明沙。
(3)若已埋葬，则洒于坟墓之上；先以少量遍洒坟土，再估计额头垂直位置，于其上方散洒金光明沙。
二、采火葬时：
(1)、(2)同土葬方式处理。
(3)火葬之后，骨灰置于骨灰坛中，再洒一些于坛中。
除了金光明沙之外，陀罗尼被(往生被)也具有不可思议的大威德加持力。任何众生在临命终时，将此陀罗尼被覆盖其遗体之上，能令亡者消业灭罪，阻挡其过去世一切冤亲债主或魔障之寻扰，使其得以身心安乐、顺利往生。
最后，除使用金光明沙与往生被之外，一般人在重病时期以及去世四十九天之内，如果家人能茹素并结集为亡者持诵地藏经，或观音菩萨、弥陀佛之圣号，乃至六字大明咒、六道金刚咒等经、咒、佛号，则更能令其得大利益，令未转生善道者令其趣往，已转生善道者增其福德，已往生极乐世界者，并使其莲品增上，令冥阳两利，共沐法喜。